《高分辨X射线衍射仪》技术参数要求：
1高频高压固态X射线发生器
1.1最大输出功率：≥3kW；
1.2X光管电压：10~60kV，1kV/step；
1.3X光管电流：2~60mA，1mA/step；
1.4输出稳定性：≤0.005%；
1.5有KV过高、kv过低、mA过高、mA过低、无水、X光管超温、X光管功率保护等；
1.6X光管：波纹陶瓷管、Cu靶、焦点尺寸0.04×10mm2、最大输出功率1.5kW。
2测角仪
2.1测角仪结构：样品水平，立式测角仪θs—θd结构；
2.2扫描半径：标准225mm（150mm~325mm连续可调）；
2.3扫描方式：步进、连续、Omg扫描方式；
2.4角度定位速度：1500?/min；
2.5扫描范围：θ范围-110—161?，2θ范围0—161?
2.6扫描速度：0.0012—120?/min；
2.7最小步进角度：0.0001?；
2.82θ角重复精度：0.0001?；
2.9全谱衍射角度线性度：≤±0.01?
3样品台
3.1自动五轴控制
3.1.1X轴范围：-5~95?（最小步长0.01?）
3.1.2Ф轴范围：无限制（最小步长0.01?）
3.1.3X/Y轴范围：200X200（最小步长0.01mm）
3.1.4Z轴范围：≥10mm（最小步长0.01mm）
3.2样品兼容：2-8英寸标准晶圆片，不规则破片样品
3.3最大线性计数率：直射光强≥8×108CPS，噪音≤0.2CPS.
4.单射仪
4.1Ge(220)双晶，Ge(400)双晶
4.2Ge(400)四晶，自动切换校准
5自动控温冷却水装置
5.1冷却水流量：16~40L/min；
5.2控温精度：0.5℃；
6工作站部分：双核、内存≥4G、硬盘≥500G、显示器≥22寸LED,A4幅面数据输出设备。
7安全指标及X射线泄漏：采用电子防护系统，铅门连锁装置，取得辐射安全许可证。
7.1X射线泄漏量≤0.12μSv/h
8衍射仪控制软件：支持Windows7操作系统的控制及应用软件，控制测角仪连续或步进扫描，同时进行衍射数据采集；
9数据处理软件
8.1衍射仪通用的正版数据处理软件，可对晶体键长、键角、构型、构象、成键电子云密度、倒易点阵、取向点阵等进行分析。
8.2数据处理软件，软件为双库。四种定量分析，全用积分强度，全谱峰分离，卡片K值法定量分析，全谱拟合法。对衍射数据进行常规处物相定性、定量分析。
9综合稳定度：≤0.3%。